Home » Sol-Gel-Verfahren Fur Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten by Cornelia Klein
Sol-Gel-Verfahren Fur Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten Cornelia Klein

Sol-Gel-Verfahren Fur Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten

Cornelia Klein

Published September 9th 2011
ISBN : 9783838127873
Paperback
192 pages
Enter the sum

 About the Book 

Die homogene Beschichtung von Substraten mit widerstands-fahigen Maskenmaterialien ist ein Schlusselschritt in der Halbleitertechnologie. Dieses Buch befasst sich mit dem okonomisch vorteilhaften Spin-Coating-Verfahren zur Applikation von geeignetenMoreDie homogene Beschichtung von Substraten mit widerstands-fahigen Maskenmaterialien ist ein Schlusselschritt in der Halbleitertechnologie. Dieses Buch befasst sich mit dem okonomisch vorteilhaften Spin-Coating-Verfahren zur Applikation von geeigneten Zirkoniumdioxid-Schichten auf 300 mm Silizium-Wafern. Ausgehend von flussigen Solen werden uber Sol-Gel-Transformation feste Schichten erhalten, deren Eigenschaften fur die Anwendung einstellbar sind. Mittels der entwickelten Beschichtungsstrategien sind nanokristalline Zirkoniumdioxid-Filme zuganglich, deren ausgezeichnete Dichte- und Harte-eigenschaften den Weg zum Einsatz als Hartmaskenmaterialien ebnen. Das Anwendungspotential wird anhand spezifischer Atzversuche gezeigt. Die aus den umfassenden analytischen Untersuchungen gewonnenen Erkenntnisse liefern einen essentiellen Beitrag zum Verstandnis des Temperverhaltens von Sol-Gel-Schichten.